真空測量是真空技術中的一個重要組成部分。用于測量真空度的儀器稱為真空計。 真空熱處理爐及真空熔煉爐常用的真空計有：熱偶真空計電離真空計等。它們的工作原理如下： （一）熱偶真空計
熱偶真空計由敏感元件、熱偶規(guī)管和測量儀器組成。熱偶規(guī)管與被測真空系統(tǒng)相通，外殼為玻璃管，管內有加熱絲
和熱偶絲。熱偶絲的冷端和熱端溫度不同時，由于溫差效應，在回路中有熱電勢產生。如加熱絲電壓保持恒定，則熱偶絲
的電勢限決于加熱絲的溫度，而加熱絲的溫度與被測氣體的壓強有關。壓強低，氣體熱導率小，被氣體帶走的熱量少，加
熱絲溫度升高，熱偶絲的熱電勢增大；反之，則熱電勢減少?；芈分械臒犭妱萦煤练頊y量，表中的毫伏數即反映出真空
度的高低。為了保證加熱絲的電壓穩(wěn)定，而接入了穩(wěn)壓電源。所以測量儀器是由測量熱電勢的毫伏表和規(guī)管加熱絲穩(wěn)壓電
源兩部分組成。
（二）電離真空計
這種真空計主要用于測量高真空度。在低壓強氣體中，氣體分子被電離生成的正離子數與氣體壓強成正比按照離產生
的方法不同，利用熱陰**發(fā)射電子使氣體電離的真空計叫熱陰**電離真空計；其中，熱陰**電離真空計由熱陰**規(guī)管和測
量儀器組成。測量儀器由規(guī)管工作電源、發(fā)射電流穩(wěn)壓器、離子流測量放大器等部分組成。熱陰**電離規(guī)管與被測真空系
統(tǒng)相通。熱陰**電離規(guī)管是一個三**管，管內有陰**、柵及和收集**。收集**電位相對于陰**電負電位；柵**相對于陰**
電正電位。當電離規(guī)管通電加熱后，陰**發(fā)射電子，在電子到達柵**的過程中，與氣體分子碰撞而產生正離子和電子的電
離現象。當發(fā)射電流一定時，正離子數日與被測氣體壓強成正比。正離子被收集**收集后，經測量電路放大，可由批示電
表讀出所要測量的真空度。
（三）復合真空計
通常，對低真空和高真空的測量不能用一種真空計來完成，而應采用復合真空計，應用較多的是電離與熱偶式復合真
空計。它的測量范圍為13.33--666.6×10-8Pa。熱偶真空計測量（10-1--10-3)×133.32Pa的低真空；電離真空計測量
133.32×10-3--666.6×10-8Pa的高真空。復合真空計附有一個熱偶規(guī)管、一個電離規(guī)管，分別接在真空系統(tǒng)上，通過旋鈕可分別給兩個規(guī)管加熱，并選擇使用。
